理想的弹性元件材料应具备强度高、弹性模量温度系数小、热膨胀系数小、各向同性和机械加工性能好、抗氧化和抗腐蚀性好、弹性滞后小等性能，但寻找同时满足上述要求的弹性材料是困难的，只能根据传感器的使用条件综合考虑。弹性元件材料有弹性合金、石英、陶瓷和半导体硅等。常用弹性合金分为高弹性合金和恒弹性合金。铜基高弹性合金用得最早，如黄铜、磷青铜、钛铜和铍青铜等。由于铜基合金耐高温和耐腐蚀性能差，因此铁基和镍基高弹性合金在一些应用场合逐渐取而代之。它们具有弹性高、滞后小、耐腐蚀等优点。高弹性合金的缺点是弹性模量的温度系数大，因而带来显著的温度误差。因此测压敏感元件（见压力传感器）普遍采用恒弹性合金材料。在一定温度范围内，恒弹性合金的弹性模量温度系数很小，一般为±10×10-6/℃（如Ni42CrTiA1）。较理想的高温恒弹性合金是铌基合金。它的特点是无磁性、恒弹性（即温度系数小）、弹性模量低（即刚度小、可获得高灵敏度）、强度高和耐腐蚀。石英也是一种优良的弹性元件材料，其滞后仅为弹性合金的1/100,而热线胀系数为它的1/30。陶瓷在破碎之前，应力-应变关系始终保持线性,最适于制作耐高温的弹性元件。